产品描述
设备名称：减压干燥机
商品编号：H20609
制造商：CHUORIKA
型号：MS-036
年份：2005年2月
设备尺寸(W × L × H)：1,240 × 880 × 1,430mm
加热温度：40℃ ~ 100℃
仕様：機械仕様
1、対象基板：W360 × D465 × H1.1
2、入力：3φ200V 60H
3、ワーク寸法：400 × 500 30t
4、真空ポンプ：EDWAROS XDS10
5、減圧チャンバー内でレジスト塗布後のガラス基板をピン受け/直置き方式で減圧乾燥する装置
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