反射率测量设备

所属分类:

关键词:


产品描述

新设备:反射率测量设备;制造商:日本制造商
概述:用于偏振测量的θ载物台・电路板驱动单元的反射率测量装置。
用于偏振测量的θ载物台・电路板驱动单元的反射率测量装置。
设备配置:测量室、样品交换室、闸阀(成膜室-样品交换室间)、成膜室真空计、样品交换室用真空计、成膜室排气系统、样品交换室排气系统、基板驱动机构、基板搬送机构、架台、控制系统、
规格:成膜室
极限真空:5×10-5Pa以下
表面处理:电解研磨(内表面镜面研磨后)
排气系统:涡轮分子泵+回转泵+辅助阀、排气管路部件
样品交换室:
极限真空:5×10-5Pa以下
表面处理:电解研磨(内表面镜面研磨后)
排气系统:涡轮分子泵+回转泵+辅助阀、排气管路部件

在线留言

提交留言