产品描述
新设备：台式旋转干燥机 制造商：中科集芯（CSCC）
特徴：特注品 300mm用、蓋にHEPA又はULPAフィルターを内臓し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。卓上型で本体が軽量なため移動が容易です。本体もチャンバーもPVCで出来ており錆びる事がありません。
仕様：
1、型式 SPD100・200・400・600・800
2、4キャリアタイプ (2キャリアタイプも可)、但し8インチ及び12インチは2キャリアタイプ
3、回転速度：水切0～1200rpm（可変）、通常400～600rpm（可変）、乾燥0～1200rpm（可変）、通常700～1000rpm（可変）
4、処理時間：水切0～999.9sec（可変）、乾燥0～999.9sec（可変）
5、ULPAフィルタ：0.1um、補修率99.9995%以上
6、蓋：エアシリンダによる自動開閉
7、排気：オートダンパー付き、本体後部１ヶ所
8、軸シール剤：特殊シール
9、電源：3φAC200V 6KVA 50/60Hz
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