实验・研究用曝光装置

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产品描述

新设备:实验・研究用曝光装置 MA-1200;制造商:日本制造商
简介:简练设计的手动式整面单次曝光装置。
主要特长:对应玻璃、Wafer、胶片等基材的实验研究用手动整面单次曝光机。也适合小批量生产。、可选择接触曝光(软接触、硬接触)和近接曝光。
对应最大尺寸为500mm×500mm的基板。根据用途和基板尺寸,配置有最佳组合的光学系统。其中包括:超高压水银灯(500W、1kW、2kW、3.5kW)、各种光学镜、特殊镜头、聚光镜等。
主要规格:
1、基板尺寸:最大 400 × 400mm
2、光源:超高压水银灯 :2kW or 3.5kW
3、本体尺寸:W1440 × D1590 × H1882 mm
4、本体重量:400kg(包含无尘机房)
5、光源重量:250kg
6、选购项:无尘机房、背面对位、硬接触(真空密着式)、自动对位、对应破碎基板等特殊尺寸(需商洽)。

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