产品描述
设备名称：干法蚀刻设备
商品编号：T00511
制造商：CANON ANELVA
型号：ILD-4015
年份：1991年9月
ウェハーサイズ：φ6"
チャンバー仕様：ALエッチャー、AUTO LOADER（ROBOT）、LOAD LOCK
プラズマ電源：RF電源（2.4KW）
メインポンプ：ターボポンプ
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