产品描述
设备名称：微观尺寸测量装置
商品编号：GA1149
型号：WF-R55UV-H5
制造商：Hitachi Kokusai Electric
年份：2007年1月
类别：半导体
规格参数: 3σ≤6nm非接触式高精度线宽测量远程控制器\线宽测量范围0.1μm至20μm\自动调光功能\工件尺寸≤W140 x D140mm H≤20mm.
产品规格:
1、电源电压：1φ 100V/15A
2、频率：50/60Hz
3、XY电动台阶：AC伺服马达(1μm单位)
4、驱动刻度：线性刻度
5、工作尺寸：Φ100、Φ125、Φ150硅片
6、工作高度：525~625μm
7、定位精度：±3μm
8、台阶扭矩：150mm
9、尺寸：1730×1000×1680mm
10、公用设备：Air:5.9×105PaVAC:35kPa
相关产品
undefined
undefined
undefined
在线留言
东莞市臻顺机电有限公司
八爪鱼数字动力平台
总部地址：深圳市人工智能产业协会-深圳市南山区粤海街道深圳湾科技生态园5栋A座1203室
东莞营运中心：广东省东莞市高埗廉商智造产业园D栋4层
电话：+86-769-22279273
传真：0769-22185259
微信：bzy2123n 或 18102945369
E-mail：sales@youcan-tech.com
业务微信