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旋转干燥机

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二手设备仪器

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产品描述

新设备：旋转干燥机、制造商：中科集芯（PHT）
简介：本机是用于晶圆等的旋转干燥机。将300mm以下的晶圆收纳在盒内，手动将2个盒或4个盒垂直装入，进行旋转干燥的旋转干燥机。
规格：
型号：SPD100・200・400・600・800
4载波类型：（也可以使用2载体类型）、但是8英寸和12英寸是2载体类型
转速：排水0～1200rpm（可变）、正常400～600rpm（可变）、干燥0～1200rpm（可变）、正常700～1000rpm（可变）
处理时间：排水0～999.9sec（可变）、干燥0～999.9sec（可变）
ULPA过滤器：0.1um、修复率99.9995%以上
盖：气缸自动开闭
排气：带自动减震器，主机后部1处
轴密封胶：特殊贴纸
电源供应：3φAC200V 6KVA 50/60Hz