产品描述
设备名称：晶圆阻抗形状测试机
商品编号：F50338
型号：RPW-1000M
制造商：KOBELCO
类别：半导体
年份：2004年1月
规格参数：
1、目标晶圆SiC单晶圆
2、直径Φ100㎜/Φ125㎜/Φ150㎜
3、厚度200~300μm
4、测量位置厚度/形状测量
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