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欧姆合金设备（低温型）

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

新设备：欧姆合金设备（低温型）；制造商：日本制造商
简介：
1、汎用化合物半導体（ＧａＡｓ系、ＩｎＰ系）のオーミック電極アロイ、アニールなどに好適
2、小型特殊高温炉使用
3、常用温度帯　300～500℃（MAX550℃）
4、面内温度分布　4インチウエーハ面内±2℃（450℃時）
5、対応基板サイズ　φ3～6インチ
6、ウェーハ搬送　枚葉式ロボット搬送　（25枚カセット対応）
7、処理雰囲気　不活性ガス中（Ｈ２雰囲気はオプション）
8、標準装置サイズ　900(W)×1,210(D)×1,450(H)
9、装置重量　約750ｋｇ