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欧姆合金设备

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

欧姆合金设备（高温型） ;制造商：Chemitronics ；
简介：
1、ワイドギャップ半導体（GaN、SiCなど）のオーミック電極アロイ、アニールに好適
2、小型特殊高温炉使用
3、常用温度帯　800～1200℃（MAX1300℃）
4、面内温度分布　4インチウエハ面内±3℃（1200℃時）(0.5mm厚カーボントレー上)
5、対応基板サイズ　φ3～6インチ
6、ウェーハ搬送　枚葉式ロボット搬送　（25枚カセット対応）
7、処理雰囲気　不活性ガス中
8、標準装置サイズ　1,000（Ｗ）×1,750（Ｄ）×1,450（Ｈ）
9、装置重量　約950ｋｇ