产品描述
设备名称：沉积设备（CVD）
商品编号：KC0476
制造商：CANON ANELVA
型号：特型 L-400EK-L
年份：2002年
装置尺寸(W × D × H)：1,600 × 1,500 × 2,310mm
装置重量：1,000Kg
機械仕様：Wafer size:150mm 水量0.3MPa 9L/min 空圧0.55MPa 電源 3相200V 50/60Hz 60A 分割以外に付属品1点あります。
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