产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号: L40513
制造商：ULVAC
型号：SME-200U
制造日期：2006年
规格参数：
1、INPUTPHASE3φ
2、INPUTFREQUENCY60Hz
3、INPUTVOLTAGE200V±10%
4、INPUTPOWER36.0kVA
5、INPUTCURRENT104.1A
6、Wafer Size6 inch
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