产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号: L40519
型号：SPL-500
制造商：CANON ANELVA
规格参数：
1、6英寸 腐蚀阴极 3个
2、侧溅射系统最高温度300°C
3、基板加热机构
4、基板清洁机构
5、基板冷却机构（气体冷却）
6、基板支架 φ420 3φ200V 50
设备名称：溅射设备
商品编号: L40519
型号：SPL-500
制造商：CANON ANELVA
规格参数：
1、6英寸 腐蚀阴极 3个
2、侧溅射系统最高温度300°C
3、基板加热机构
4、基板清洁机构
5、基板冷却机构（气体冷却）
6、基板支架 φ420 3φ200V 50
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