产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：L70536
制造商：ULVAC
型号：CS-200K
年份：2009年12月
機械仕様：
1、電源3相200V 18.5kVA 60Hz
2、DC電源2KW
3、RF電源500W 13.56MHz
4、ローターリーポンプVD401排気速度800L/min
5、到達圧力0.67
6、ターボポンプTMP-803LM
7、排気速度800L/s 到達圧力10-E9Pa
8、ターゲット Ni Ti TiW Ag
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