产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：L40596】
制造商：SHIMADZU
型号：HSR-521A
年份：1991年1月14
機械仕様：
1、スパッタアップ方式高周波マグネトロン放電
2、ターゲット距離40～40mm ホルダー3個
3、基板取付枚数4枚
4、最高加熱温度300℃
5、チャンバー寸法φ450x220H
6、基板ホルダー寸法φ350
7、高周波出力1KW 13.56MHz 2出力
8、三相 200V 30A
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