激光烧蚀设备

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产品描述

新设备:激光烧蚀设备:日本制造商
摘要:所谓激光消融法,激光消融法是指将脉冲激光照射到固体靶上,将放出的原子、分子、离子堆积在基板上形成薄膜的成膜法。研究内容,根据使用的状况,设计制作。
构成:成膜室、试样交换室、闸阀(成膜室-试样交换室间)、成膜室用真空计、试样交换室用真空计、成膜室用排气系统、试样交换室用排气系统、基板加热驱动机构
目标驱动机构、激光、架台
规格:
成膜室:到达真空度:1×10-6Pa以下,表面处理:电解研磨(内面镜面研磨后)
排气系统:涡轮分子泵+旋转泵、辅助阀、排气配管部件
样品交换室:到达真空度:1×10-4Pa以下,表面处理:电解研磨(内面镜面研磨后)
排气系统:涡轮分子泵+旋转泵、辅助阀、排气配管部件
选配:电子枪、基板加热驱动机构、手套箱、手套箱交接机构、基板温度测量用温度计、离子泵

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