产品描述
新设备：电源设备清洗装置 、制造商：中科集芯（CSCC）
简介：RCA清洗·酸/碱性蚀刻·抗蚀剂剥离、石英治具及管清洗机等，我们公司讲究的液系装置成本也很高。
仕様：
1、晶片尺寸：~φ300m/m
2、HEPA或ULPA：内置过滤器
3、机器人：伺服电机
4、药液槽：摇动、超声波清洗、百万声波
5、冲洗槽：鼓泡、QDR、电阻率计设置
6、ULD：lonaizar(可选)
7、乾燥：S/D. IPA V/D.拉起，拉起
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