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真空镀膜机

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

设备名称：真空镀膜机
商品编号：T00406
制造商：爱发科（ULVAC）
型号：VTR-060M/ERH
尺寸(W × L × H)・重量：
本体428 × 438 × 713mm　约50kg
蒸发电源480 × 435.3 × 149mm　约2kg
概要•规格：概要
这是一款低价格的电阻加热小型真空蒸发系统,该系统结构紧凑,包含涡轮分子泵和辅助泵。排气清洁,适用于基础研究开发等实验。
特点及注意事项：
1、台式,小型尺寸可以节省空间。
2、配备涡轮分子泵。
3、只需操作开关,即可实现高真空排气。
4、具有可扩展性,可进行多层镀膜,基板旋转。
5、适合低熔点金属镀膜。
规格参数：
1、极限压力：10-4Pa
2、排气时间：4.0×10-3Pa/20min
3、真空舱：玻璃钟罩 (直径236mm × 250mm(H))
4、馈通圈：7个端口(底面)
5、标准基板：□50mm ・ □120mm(最大)
6、电极距离：Max 200mm
7、电极结构：1点式
8、电极结构：SEREM “PSE-150C”, 0-10V, 80A (最大)
9、主泵：涡轮分子泵 60Lc
10、前级泵：油旋片真空泵 20L/min
11、油雾过滤器：OMT-050A
12、主阀门：可选 (蝶阀)
13、副阀门：可选 (三向切换阀)
14、自动渗漏阀：可选
15、控制：手动控制
16、控制仪：可选 (CRTM-6000G)
17、尺寸：428(W) × 438(L) × 713(H) mm
18、重量：50kg
19、尺寸(蒸发电源)：480(W) × 435.3(D) × 149(H) mm
20、重量(蒸发电源)：24kg
条件：
1、电源需求 (主体)：单相 (100V)(50/60Hz): 0.6kVA
2、电源需求 (蒸发电源)：单相 (100V) (50/60Hz): 0.8kVA
3、附件 (主体) 单相、100V：单相 (100V): 乙烯绝缘软电缆(带插头) 4.0m
4、附件 (蒸发电源) 单相、200V：单相 (100V): 乙烯绝缘软电缆(R2.0-5 带插头) 4m
特别说明：
1、请准备两个接地线插座
2、阀门配管组的极限压力为1.5×10 ^ -3Pa。