产品描述
设备名称：立式退火炉
商品编号：L50330
制造商：Koyo
型号：VF-1000
年份：2000年
设备尺寸(W × D × H)：700 × 1,000 × 2,580mm、1,200 × 1,200 × 2,580mm
概要：ミニバッチ、最大25枚の選択処理が可能で、～Φ200mm、および300mmまで幅広いウェーハサイズに対応した実験・研究(R&D)、少量生産用縦型炉です。LGOヒータ、二珪化モリブデン（MoSi2）ヒータ、カーボンヒータを使い分けることにより、酸化、拡散、LP-CVDはもちろん、SiCパワーデバイス、ゲート酸窒化や活性化アニール向け処理など超高温プロセスにも対応します。
製品概要・仕様：仕様
1、ヒータ：LGOヒータ
2、均熱長(mm)：250
2、ウェーハサイズ(mm)：～Φ200 Φ300
3、一処理枚数：25枚 50枚
4、使用温度：140～1150℃
5、オプション：N2ロードロック、強制冷却システム ボート回転機構
6、処理：酸化、拡散、LP-CVD、各種アニール
7、処理品：Si、GaAs、InP、GaN、Ga2O3 他
特長：
1、R&Dにおいても高品位なプロセスを実現
2、ミニバッチ、最大25枚処理の選択が可能
3、～Φ200mm及び300mmと幅広いウェーハサイズに対応
4、 LGOヒータ搭載により、量産機と同一の温度特性を発揮
5、 機能を限定した簡易型制御システムを採用
6、 二珪化モリブデンヒータやカーボンヒータを搭載(Hタイプ)し、超高温プロセスにも対応
7、 機密性の高いチャンバー構造を採用
相关产品
undefined
undefined
undefined
在线留言
东莞市臻顺机电有限公司
八爪鱼数字动力平台
总部地址：深圳市人工智能产业协会-深圳市南山区粤海街道深圳湾科技生态园5栋A座1203室
东莞营运中心：广东省东莞市高埗廉商智造产业园D栋4层
电话：+86-769-22279273
传真：0769-22185259
微信：bzy2123n 或 18102945369
E-mail：sales@youcan-tech.com
业务微信