产品描述
设备名称：等离子清洗机
商品编号: XF15A4
制造商：松下
型号：ANUCL13S403
年份：2011年
类别：半导体
机械规格：
1、 工作台尺寸： 300mm
2、 2轴机器人：X = 500mm Y = 400mm
等离子加工范围：约5mm
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