产品描述
设备名称：等离子清洗装置
商品编号: C000575
制造商：HITACHI
型号：SPC-100H
装置尺寸(W × D × H): 1200 × 580 × 1300mm
製品概要：
1、特 長“サイクルタイム：12～30秒／基板
2、高密度・大面積処理：高周波電源Max600w、□300mmの処理エリア、ウェーハレベルパッケージ工程でのプラズマ処理
8インチウェーハリングでの直接処理（オプション）
3、多品種少量生産～大量生産：・ 一度に2～3種類の基板を自動で生産可能、・ W75mm以下の基板であれば3枚同時処理可能らに、L120mm以下の基板であれば6枚同時処理可能（オプション）
4、PE⇔RIEのプラズマプログラム切替が可能（オプション）
基本仕様
1、対象基板寸法：最大130×300mm、8インチウェーハリング（オプション）
2、電極構造：平行平板電極 PE⇔RIE手動切替
3、高周波電源：13.56Mhz Max600W RFオートマッチング
4、排気系：ロータリーポンプ 800l/min
5、装置寸法（W×D×H）：1,200×580×1,300mm (基板供給ユニット除く)
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