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等离子表面处理设备

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

设备名称：等离子表面处理设备
商品编号 :1ASHkos-ryd-P8013
制造商：KOSTEK
型号: Rydeen 8400
年份：2015年
设备尺寸(W × D × H): 1,230 × 2,490 × 2,020mm
晶圆尺寸: 150mm, 200mm & 300mm
Specifications: Specification:
1、Production type：PR, PI, PBO, BCB…
2、Cassette used：150mm, 200mm Open Cassette. 300mm Foup
3、Product loading capacity：Max 110 wafers / hour
4、Wafer breakage rate：Per 100,000 wafers
5、Particle：Under 20ea over 0.2um
6、Ashing Uniformity：for PR : under 5%、for PI : under 7%
Process module：
1、Chamber：2 chambers, separate process for each chamber 60L for 27.12Mhz ICP / 38L for 13.56Mhz ICP
2、plasma type：Balanced ICP
3、APC：Pascal (10Pa~200Pa)
4、Stage Temp：20℃
5、RF power (Top)：27Mhz(5KW) or 13.56Mhz(2KW)
6、RF power (Bottom)：2Mhz(0.5KW~1KW)
7、Process gas：Basic configuration: O2/N2/CF4/Ar
8、Recipe capacity：About 100 lot recipes