产品描述
设备名称：等离子CVD设备（DLC薄膜）
商品编号：K10637
型号：PD-10M特
制造商：SAMCO
类别：半导体
规格参数：
1、反应室φ394mm SUS304
2、上部电极φ240mm花洒型出气口一体型
3、下部电极φ200mm扁平加热器最高500℃
4、高频电源13.56MHz max
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