产品描述
新设备:简易型微量金属污染物采样设备、制造商:日本制造商
简介;SC-3000通过与计算机联机,可选择丰富多样的采样模式,对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。因为不太需要外部资源,也不太占地方,易于导入。采样操作由设备自动完成,无需熟练工就可轻松完成采样操作。采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作,与SC-2000相比,可以减少由操作员引起的污染。
设备名称: SC-3000
操作控制:电脑(※3)
支架具的装/卸:自动
采样液的供给:自动
采样液的回收:自动(※1)
采样基本模式:圆环形、扇形、固定半径、圆弧
采样追加模式(※1):端面、弧形、长方形
晶圆排片(※2):对圆环形、固定半径、端面采样模式有追加项
吸取式采样:〇
外形尺寸(WxDxH)(mm):480×495×500
重量:35Kg
安装环境:无尘通风柜内
所需外部资源:电源(100~240VAC)、干洁气源
※1,2: 追加项目需要另外计费,另外,对于亲水状态的晶圆,不能进行端面采样,谨请谅解。
※3:配置电脑需要另外计费。
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