产品描述
新设备：纳米操作台、制造商：日本制造商
搭载XYZ轴可动的小型载物台单元、粗微动一体型的PZT致动器“SPPA”，可进行纳米级定位。
详细规格：
尺寸：64mm× 55mm × 62mm(W.D.H)
重量：约550g
阶段规格：
1、粗动：X轴15mm、Y轴15mm、Z轴10mm、粗动分辨率10nm（关闭控制时）、约500nm以下（打开控制时）
2、微动：XYZ轴1.0μm、（分辨率1nm以下
型号：NMS 110LE
配置：NMS（1台～）+控制PC、+控制箱1式
特征：内置线性编码器，可根据位置信息进行关闭控制，因此可在全轴全行程中以10nm左右进行定位。
NMS110S：
构成：NMS（1台～）+控制箱1式
特点：除线性编码器外的简单配置。想以低价格进行纳米区域的作业时，用控制箱驱动NMS的X/Y/Z轴。
SPPA搭载：SPPA（Super Precision Piezo Actuator）是指通过1个压电元件可进行连续步进动作（粗动）、压电元件的直接动作（微动）的致动器。
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