纳米操纵平台

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产品描述

新设备:纳米操纵平台、制造商:日本制造商
简介:XYZ轴移动的小型舞台单元,粗微动一体型的PZT致动器“SPPA”搭载纳米级的定位可能。
詳細仕様:
寸法:64mm × 55mm × 62mm(W.D.H)
重量:約550g
舞台规格“
粗动:X轴15 mm、Y轴15 mm、Z轴10 mm、粗动分辨率10 nm(关闭控制时)、约500 nm以下(开路控制时)
◎ 微動:XYZ軸 1.0μm、(分解能1nm以下)
型式:NMS110LE
配置:NMS(1台~)+控制PC,+控制箱1式
特点:内置线性编码器,可根据位置信息进行关闭控制,可在全轴行程中以10 nm量级进行定位。
NMS110S:
配置:NMS(1台~)+控制箱1式
特点:简单的配置,除了线性编码器。驱动NMS的X/Y/Z轴在控制箱中,如果你想以低成本在纳米区域工作。

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