产品描述
设备名称：薄膜应力测量装置
商品编号：L40384
制造商：KLA Tenko
型号： FLX-2320
年份：1998年
机械规格：单相 200V 温度范围 室温至 500°C 、（低温选项 -65°C 至 500°C）、/FLX-2320-S 最高 25°C/min、测量再现性 1σ = 、1.3MPa（Si 上的、氧化膜厚度为 725μm 的基板）（适用于 1 μm）、重量 46 kg
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