薄膜沉积设备

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产品描述

设备名称:薄膜沉积设备
商品编号:HC0054
制造商:ULVAC
型号:EBV-6DA
机械规格:
1、样品室:φ450 H500
2、旋转泵:阿尔卡特(2063)
3、用途:三相200V 60A
4、空气:3kg 或更多连接口一触式接头 Φ8
5、冷却水:3kg或更多连接口 20A
6、旋转泵排气: NW40

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