产品描述
设备名称：薄膜沉积设备
商品编号：VA3D02
制造商：SHINCRON
型号：BMC-800W
年份：1998年
机械规格：
1、腔室尺寸：W800 约 H1100 mm
2、安装面积： W4800 D3800 mm
3、排气：扩散泵 + MBP + RP
4、电源：EB3kw
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