产品描述
设备名称：薄膜沉积设备
商品编号：XCBP45
制造商：ULVAC
型号：EBX-12C
日期：1991年6月
本体尺寸(W × L × H)：1,600 × 1,100 × 1,760mm
控制台尺寸(W × L × H)：550 × 850 × 1,950mm
EB电源尺寸(W × L × H)：660 × 900 × 1,200mm
规格：设备规格
1、电源电压：AC200v 75A +50A 50/60Hz、2寸 15张、3寸 14张
2、低温泵规格
3、腔体内部尺寸：φ600 H790
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