产品描述
设备名称：蚀刻装置
商品编号：I70641
制造商：SHUWA SHINKU
型号：SPE-2010
年份：2001年6月
设备重量：约1,000kg
设备尺寸(W × D × H)：1,000 × 1,100 × 1,600mm
仕様：機械仕様
1、電源電圧：3相 200V
2、周波数：50 ・ 60Hz 12KVA
3、圧空：0.5MPa 20L/min
4、N2ガス：0.3MPa 60L/min
5、ウエハー：3インチ対応
6、RF電源：CREATE T857-2、MAX500W 13.56MHz
7、到達圧力：2.7×10⁻³ Pa
8、チラー：NESLAB M75
9、排気時間：3.0×10⁻²Paまで2分以内
10、ロータリーポンプ：ALCATEL2012A/2033C2 2台
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