产品描述
新设备：退火装置；制造商：日本制造商
简介：退火装置的特点，从硅晶圆到玻璃基板、面板、部件、材料等各种各样的东西都可以用于退火处理。我们提出了从分批式到内联式的各种真空退火装置。具备从100℃左右的低温到900℃以上的高温对应的退火装置。也可支持气体置换（Ar、N2、Ar+N2）。抽真空，可以自动进行加热动作。备有在手套盒内进行预处理后进行退火处理的连续处理装置。
VB-1000的介绍：由圆形真空槽和克莱夫泵排气系统构成。打开门，将处理物搬入真空槽内部，用高真空加热，进行脱气。
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