产品描述
设备名称：高性能薄膜拉伸设备
商品编号：1WAFhit-fit-A3902
型号：FITZ
制造商：HITACHI
类别：半导体
规格参数：
1、卡盘芯距入：口150~500mm、出口350~750mm
2、膜厚：10~300um
3、延伸率：MD 0.7~3倍、TD 0.7~3倍
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