产品描述
新设备：高精度晶圆裂纹检测装置 SM75 制造商：SoftWorks
简介：タイプにより３００ｍｍウエハーでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能です。検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、多数採用されております。また小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。 近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。
特徴：
自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしておりマニュアルでの検査が可能です。任意のスライスレベルを設定出来ニーズに合った検査が可能です。用途によりソーマーク除去機能も有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。
アプリケーション：
1、パターン付きウエハークラック検査
2、 ベアウエハークラック検査
3、 ウエハーエッジダメージ検査
4、ＢＧ研磨痕の評価
5、スラリーの評価
6、 ガラス基盤の応力残り
7、ストレスレリーフの評価
8、ＢＧテープのテンション検査
9、化合物ウエハーの歪みや傷検査
10、 レンズや光学部品の脈離検査
11、 圧力による各種ワークの応力歪み
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