产品描述
新设备：12英寸 晶圆搬运设备 、制造商：菲科（PHT）
简介：
采用了清洁机器人的系统。
12英寸（300mm）的晶圆，
以1枚为单位，从容器A移动至容器B。
Inspire
规格 the World
可以对应的容器为FOUP ・FOSB ・PFA。
一般标准为以1枚为单位进行转移，但也可
以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据
客户规格制定
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