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12英寸晶圆自动剥离设备 PWD2020

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

12英寸晶圆自动剥离设备 PWD2020
线锯（切片）后的晶圆自动分离装置。将附
着在金属板夹具的铸模与投入侧进行组合，
可以全自动进行预备清洗~晶圆分离~晶圆
枚叶清洗~收纳至干燥容器的系统。分离后
的金属板夹具，将从装卸处排出。
Create
the Future
规格
可对应的金属板夹具有，NTC产・MB产。分离采用热风加热方式逐
枚进行。分离后的晶圆，采用枚叶式清洗。二流体高压喷淋~杂质清
洗~冲洗清洗~吸水辊干燥~狭缝喷嘴干燥后，用水平多关节机器人将
其逐个收纳在卸载部的盒中。收纳可以从盒式磁带(25枚装)的上段~
或下段进行选择。存储盒有四个。支持OHT运送