产品描述
新设备：12英寸 设备前端模块 EFEM 、制造商：菲科（PHT）
简介：通过安装新型清洁机器人和高速线性移动轴，实现了高速传输系统。 可连接OHT和AGV。通过安装两个对准器可以实现更高的吞吐量、兼容真空保持型和边缘夹紧型（可选）、可用于200mm/300mm（可选）
设备规格：TYK2102-2、TYK2102-3
1、端口数：2个端口、3个端口
2、搬运对象：直径：Φ300±0.2mm、厚度：600μm～850μm
3、作业模式：FOUP 25步 间距10mm（SEMI 标准产品）、FOSB 25步 间距10mm（SEMI 标准产品）
4、电源电压：三相200V±10% 、50/60Hz±5%
5、消耗电流：4kVA 20A、6kVA 30A
6、真空（原压）：-80kPa～-90kPa
7、真空（流量）：30L/min以上、40L/min以上
8、正压（原压）：0.5MPa～0.7MPa
9、正压（流量）：30L/min以上、40L/min以上
10、EMO触点输出：2系统（干燥触点）
11、互锁：输入8点/输出8点（绝缘I/O）
12、Robot机器人：Phoenix Engineering Co.,Ltd.
13、Aligner校准器：Phoenix Engineering Co.,Ltd.
14、Load Port装卸器：Phoenix Engineering Co.,Ltd.
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