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300mm CMP装置

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二手设备仪器

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产品描述

设备名称：300mm CMP装置
商品编号: PD0001
制造商：EBARA
型号：F-REX300
产品介绍:
1、F-REX型是对晶圆表面进行化学机械研磨的洁净室安装型CMP装置。工艺性能的高度可靠性和出色性能得到了市场的证明，能够按照要求规格，做到多种多样且又灵活自由的装置结构组成。
2、采用双模块式，工艺腔室间不会发生交叉污染。即使一个模块停止运行，也可自动切换为另一模块运行，在维护或者发生故障时，无需停止设备运行，生产效率非常高。凭借双模块方式，一台设备能进行多项工艺处理。除了量产以外，还可提供试验研发用途的优化装置结构组成。