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4轴圆柱坐标洁净机械手臂

本产品是用于洁净室的水平多关节机器人。可进行前后（X轴）、旋转（θ轴）、上下（Z轴）+ 手动旋转（0～180°）操作，支持大气中的晶圆转移。驱动电机为交流伺服电机，所有轴均采用绝对编码器规格。

所属分类：

二手设备仪器

关键词：

4轴圆柱坐标洁净机械手臂

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产品描述

新设备：4轴圆柱坐标洁净机械手臂；制造商：菲科（PHT）
简介：本产品是用于洁净室的水平多关节机器人。可进行前后（X轴）、旋转（θ轴）、上下（Z轴）+ 手动旋转（0～180°）操作，支持大气中的晶圆转移。驱动电机为交流伺服电机，所有轴均采用绝对编码器规格。
产品概要：
型号名称：PHT-R-4
安装环境：无尘室内大气环境、温度：10℃～35℃、湿度：70%RH以下
手臂：单臂
材质：铝、CFRP、陶瓷
作业范围：X轴：500mm θ轴：340度 Z轴：300mm 手转：0～180°
运行速度（最快）：X轴：500mmc θ轴：200degc Z轴：250mmc 手动旋转：180degc
有效载荷：3kg (hand base·hand·total work weight)。
机械手臂标准规格：
机械手臂型号：PHT-R-4-2022
被搬送物：～300mm晶圆（我们还可以灵活定制其他特殊工件、形状和材料。）
晶圆吸附方式：真空吸附/边缘夹持/边缘保持
机械结构格式：水平多关节型　圆柱坐标系
控制轴：4轴
电机类型：交流伺服电机　绝对编码器规格
重量：本体重量：约47Kg　控制器：约8Kg
控制电缆：3m（标准）、5m、10m
控制规格 (1)：并行接口 32点输入 32点输出
控制规格 (2)：串行接口 RS-232C x 1线
重复性精度：±0.1mm以内
洁净度：ISO标准 Class 2级（0.1 μm以上，10个/m³以下）
厂务：额定电压：单相AC200-230V±10%
额定电流：5A
真空：-80kPa以下10NL/min以上
控制器规格：
控制器型号：MFD
控制通讯方式：RS232C 1线数字IO输入：32点，DC24V 8mA 输出：32点，DC24V±3V 0.1A以下