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Auotmatic Map Sorter

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

设备名称：Auotmatic Map Sorter
商品编号 : MS899I
制造商：ASM
型号：MS899I-DL
设备尺寸(W × D × H)：57" × 59" × 64"
设备重量：1,100Kg
SPECIFICATIONS：System Capability
1、XY placement：±1.5 mil (±38 µm)
2、Die rotation：±3°
3、Cycle time：220ms* (single bin sorting)
Material Handling Capability：Input wafer system
1、Wafer size：Max. 4.2" (for 6" ring on frame)、Foton ring size (ring on frame)、Max. 6" (152.4 mm) O.D.
2、No. of frames in cassette：12 (ring on frame)
3、Die size With look ahead：6 × 6 mil to 12 × 12 mil；W/O look ahead：6 × 6 mil to 50 × 50 mil
Bond Head System：
1、Bonding collet：Surface pick type
2、Bond force：40 to 250 g
Bin Table Workholder：
1、Film frame capacity：Max. 150、(100 - buffer bin cassette, 25 - empty bin cassette, 25 - finished bin cassette)
2、Film frame size：I.D. 175 mm, O.D. 195 mm
3、Effective bin area：58 × 58 mm
4、Size of mylar sheet：Max. 195 × 195 mm
Pattern Recognition System：
1、PR system：24 bit true colour
2、Resolution：1024 × 768 pixels
3、PR accuracy：±0.02 mil @ FOV 78 × 59 mil
4、Angle tolerance：±10°