产品描述
设备名称：CNC坐标测量机
型号：STRATO-Apex 9166
制造商：Mitutoyo
类别：半导体
年份：2013年
特点：
1、STRATO-Apex系列是高精度CNC三维测量仪。另外，虽然是高精度机，但同时也实现了高速、高加速驱动。为了实现这些，通过对主体结构、导向机构等进行重新评估，实现了高刚性化。
2、位置检测用的测量单元搭载了与LEGEX系列相同的超高精度测量单元（本公司生产），具有极高的位置检测，可控制超高精度机。除此之外，还投入了实现高速控制程序等高精度、高速的各种技术。
规格参数：机械规格
1、测量范围：X轴900mm × Y轴1600mm × Z轴600mm
2、指导方式：每个轴的空气轴承
3、行驶速度(CNC MODE)：Moving Speed 各轴 8~300mm/s (最大合成速度519mm/s)（测量速度）Measuring Speed 1~3mm/s
4、行驶速度(J/S MODE)：（移动速度）Moving Speed 0~80mm/s、（测量速度）Measuring Speed 0~3mm/s、（精细移动速度）Fine Speed 0.05mm/s
5、行驶加速度：各轴1500mm/s2（最大合成加速度2598mm/s2）
6、测量方法：线性编码器
7、最小显示量：0.00002mm
8、测量表：材质：辉长岩、尺寸（装载面）：1062 × 2320mm、测量对象固定方法：M8 × 1.25
9、机械重量：3085kg
10、电源规格：电源电压AC100-120/200-240V±10% 电源容量700W
11、空气使用条件：使用空气压：0.4MPa，耗气量：（在标准状态）60L/min（作为空气源120L/min以上）
12、精度保证温度环境：环境温度：19~21℃、温度变化（大约1小时）：1.0℃、温度变化（大约24小时）：2.0℃/m、温度梯度（水平/垂直）：1.0℃/m
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