产品描述
设备名称：CVD设备
商品编号：I70640
制造商：爱发科（ULVAC）
型号：CME-200
年份：2003年6月
機械仕：
1、部品PLCソフトNG
2、電源:3相200V 28.6KVA 60Hz 8インチ
3、TEOS P-CVD装置 付属ULVAC排気セット(PMB-001CM D-650DK) ULVAC DRYPUMP(KL1004)
4、ボンベボックス 水冷式チラー(CS-400SW-R)
5、取扱説明書(本体取扱説明書欠品) 、図面無し
6、シーケンサーがNGのため要メーカー協力
7、リレイ欠品有り *信号線記載無し多数取有
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