产品描述
设备名称：ZrO2 ALD CVD
商品编号：T00463
制造商：东京电子（TEL）
型号：TRIAS ALD
年份：2006年
晶圆尺寸：12寸(300mm)
ZrO2 ALD CVD TRIAS ALD：Configuration、ZrO2 ALD 2Chamber、GAS: TEMAZ, O2, N2, Ar
Process module configuration： Process type: Thermal ALD、 Wafer Heating: Heater、 Max temperature: 500℃、 Gate valve: KITE UXG1232H-CM-63、 Ozone generator: Sumitomo Precision Product (SGRC-O2CS-121)、Liquid injection & MFM: Lintec (VU425FA-1 & LM2100A)、MFC
Gas、Max flow、Maker、Model
1、Ar：2000sccm、Hitachi Metals、SFC1480FAMC-4UGL G
2、Ar 5000sccm、Hitachi Metals、SFC1481FAMC-4UGL
3、N2 1sccm、Hitachi Metals、SFC1460FAMC-4UGL
4、O2 2000sccm、Hitachi Metals、SFC1480FAMC-4UGL
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