产品描述
设备名称：互回式溅射设备Sputter
商品编号：F42677
制造商：SHINKO SEIKI
型号：STL7411
年份：2012年3月
设备尺寸(W × D × H)：5,000 × 1,200 × 2,000mm
仕様：機械仕様
1、電源電圧：3相200V 85kW
2、周波数：50Hz
3、基板トレイ：400 × 450 (2トレイ収納)
4、ガラス基板：300 × 300 × t3 ~ 5mm 加熱300℃
5、膜厚分布：□290mm範囲内±5%以内
6、膜厚：500nm程度
7、スパッタ用高周波電源：5kW
8、スパッタ用直流電源：10kW
9、クリーニング用高周波電源：1kW
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