产品描述
新设备:光伏电池卧式炉、制造商:日本制造商本装置
简介:太阳能电池单元制造最适合的卧式炉。对应100~156角晶片,可进行1批200~400张的大量处理。
特点:国内市场占有率丰富的实绩,支持100mm~156mm方晶片,1批200~400张(均热长,根据晶片间距),搭载LGO加热器可快速升降温和节能
规格:125mm角、156mm角的太阳能电池、Φ150mm、Φ是与200mm的晶片尺寸也对应的面向太阳能电池单元制造的卧式炉。可进行使用氯氧化磷(POCl3)、三溴化硼(BBr3)等的磷扩散、硼扩散、菠萝氧化、湿氧化、干氧化、退火等结晶系处理。
本体尺寸(mm):850(W)×6700(L)×2500(H)(3段炉)
加热器:LGO加热器
均热长度(mm):1000
温度控制:3~5区
搬运装置:船装载机
用途:氧化·扩散(磷扩散、硼扩散、热电偶氧化、湿氧化、干氧化)、退火处理
处理品:Φ75~Φ200mm硅晶片、125mm角、156mm角PV单元
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