产品描述
Brand：光学镀膜装置
商品编号：T00932
型号：OTFC-1300DBI
制造商：光驰公司（OPTORUN）
生产日期：2006-02
光学镀膜装置 OTFC-1300DBI：特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm、60点/80点式光学膜厚监控、 使用均匀分布的高离子电流密度的离子源、 搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上、利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程、工件架可选择钟罩式或行星式、 排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格:
真空室：SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架：φ1130mm
工件架转速：10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制：HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源：电子枪2套
离子源：17cmRF离子源
排气系统：机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
性能：
达到压力：7.0×10-5 Pa 以下
排气时间：15分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度：最高：350℃
工作条件：
设备尺寸：约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源：3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量：140升/分以上
空气压力：0.5MPa以上
重量：约8500kg（二手设备）
相关产品
undefined
undefined
undefined
在线留言
东莞市臻顺机电有限公司
八爪鱼数字动力平台
总部地址：深圳市人工智能产业协会-深圳市南山区粤海街道深圳湾科技生态园5栋A座1203室
东莞营运中心：广东省东莞市高埗廉商智造产业园D栋4层
电话：+86-769-22279273
传真：0769-22185259
微信：bzy2123n 或 18102945369
E-mail：sales@youcan-tech.com
业务微信