产品描述
新设备：光罩玻璃抛光；制造商：日本制造商
材质：合成石英玻璃、低膨胀玻璃、无碱玻璃、蓝板玻璃、白板玻璃
规格：4、5、6、7、8英寸角及8、12英寸晶圆型
平坦度：0.5μm以下、缺陷、粒子级别：0.1μm以下、面精度Ra0.15nm以下
品质：最先进检查装置的品质保证、MAGICS、AFM、NIDEK、TROPPEL
特点：超精密玻璃化学研磨、超洁净度半导体光罩用玻璃清洗、倒角、端面处理等各种加工
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