产品描述
Brand：刻蚀设备
商品编号：T00911
型号：2300 Exelan Flex 45
制造商：泛林集团 (Lam Research)
生产日期：2008年
制造商：泛林集团 (Lam Research)
生产日期：2008
晶圆尺寸：12"
描述 • 规格：Equipment Details
金属蚀刻机，12“、安装类型：单机
用途：M1/M2铝蚀刻
系统软件（版本）：1.7.2sp2HF4-CST-5
腔室：（2）金属蚀刻CH+（2）灰烬/条状CH
工厂接口/自动化：
接口：（3）载体级（连续流操作）
布鲁克斯300mm装货港、25槽FOUP（符合SEMI E47.1）、高架运输系统（OHT）、OHT PIO传感器
晶圆ID读取器：无WIDS，底部读取
运营商ID读取器：HERMOS RF标签读取器
主机架（M/F）/运输模块（TM）：
平台类型：版本2
用户界面-1：正面，平板显示器
用户界面-2：系统侧，平板显示器
GEM/CIM JGJ：以太网100BaseT
状态灯：（2）右/右/右、1： 前侧（FI），左上、2： 工具侧，右上
EMOs：（2）前，（2）后
调节阶段：4槽冷却站、加热型前端管路、双下拉子面板、系统上的UPS、GFI主CB
TM燃气箱：12线增强型燃气箱
刀具制造联锁：煤气箱门（本地）制造厂、Fab燃气箱Iso阀门
公用电箱：
监管机构：
CDA：SMC AR2500
N2：Veriflo SQ-420E
He：Veriflo SQ Micro
手动阀：OGD20V-6RM-K/OGD10V-4RM-K（CKD）
压力表：波登压力表、OEM卸载（二手设备）
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