功率半导体清洗装置

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产品描述

新设备:功率半导体清洗装置、制造商:中科集芯(CSCC)
简介:RCA清洗·酸/碱蚀刻·抗蚀剂剥离,石英夹具和管清洗机等,本公司拘泥的液系装置成本也优秀。
规格:
1、晶片尺寸:~φ300m/m
2、HEPA或ULPA:内置过滤器
3、机器人:伺服电动机
4、药液槽:摇动、超声波清洗、MEGASONIC
5、冲洗槽:设置鼓泡、QDR、电阻率计
6、ULD:lonaizar(可选)
7、干燥:S/D。IPA V/D. 提升

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