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反射率测量设备

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

新设备：反射率测量设备；制造商：日本制造商
概述：用于偏振测量的θ载物台・电路板驱动单元的反射率测量装置。
用于偏振测量的θ载物台・电路板驱动单元的反射率测量装置。
设备配置：测量室、样品交换室、闸阀(成膜室-样品交换室间)、成膜室真空计、样品交换室用真空计、成膜室排气系统、样品交换室排气系统、基板驱动机构、基板搬送机构、架台、控制系统、
规格：成膜室
极限真空：5×10-5Pa以下
表面处理：电解研磨（内表面镜面研磨后）
排气系统：涡轮分子泵+回转泵+辅助阀、排气管路部件
样品交换室：
极限真空：5×10-5Pa以下
表面处理：电解研磨（内表面镜面研磨后）
排气系统：涡轮分子泵+回转泵+辅助阀、排气管路部件